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自有精密制造
MODULE
01
CORE.MODULE.01
机械零件加工
定义刚性底座的物理极限
MODULE
02
CORE.MODULE.02
精密零件削磨
追求极致的表面平整度
MODULE
03
CORE.MODULE.03
滑台装配与测试
确保平滑精准的线性运动轨迹
MODULE
04
CORE.MODULE.04
转台装配与测试
实现卓越的绝对定位精度
MODULE
05
CORE.MODULE.05
主轴装配与测试
确保极致稳定的动态回转性能
MODULE
06
CORE.MODULE.06
整机装配与测试
精密系统的最终和谐统一
自有精密检测
0.1μm
曲面轮廓检测精度
01
0.1nm
表面粗糙度检测精度
02
0.1μm
圆度圆柱度检测精度
03
0.1μm
激光干涉仪检测精度
04
自研核心部件
COMP.01
高精密静压滑台
直线精度小于 0.0002mm/100mm
COMP.02
高精密静压回转台
回转精度小于 0.0002mm
COMP.03
超精密气悬浮转台
回转精度达 0.00001mm
COMP.04
高精密静压主轴
回转精度小于 0.0002mm
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